測試原理
測試方法說明
| 測試方法 | 方法解釋 |
| 單傳感器測試技術(shù) | 單傳感器一般指使用一個壓力傳感器，壓力傳感器與測試腔連接，通過傳感器的壓力變化判斷測試結(jié)果。 此技術(shù)檢測精度較低，一般可檢測5ccm（約25μm漏孔）。其檢測精度取決于壓力傳感器的精度。 |
雙傳感器測試技術(shù) | 一般指使用壓力傳感器和差壓傳感器兩種傳感器配合，采用雙腔對比測試，通過監(jiān)控差壓傳感器的壓力變化判斷測試結(jié)果。 此技術(shù)檢測精度較高，可以分辨3μ以下的泄漏。 |
| 多傳感器測試技術(shù) | 在雙傳感器技術(shù)基礎(chǔ)上增加力傳感器或其他類型傳感器，通過多傳感器比較，提高測試精度和準確度并可以計算出泄漏孔徑。 |
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